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奧特維 太陽能光伏硅片分選機皮帶 硅片分選皮帶 視覺分選皮帶

發布時間:2020-08-14 05:24:05        

1、分選機的基本組成
  分選機主要是由上料臺、檢測系統和分選系統3個部分組成。其中測量系統為整臺設備的核心部分,它又包含了厚度模組、線痕模組、隱形裂紋模組、臟污模組、邊緣模組和尺寸、翹曲模組。當硅片從上料臺入片經過測量系統時,會被這6個模組分別檢測、對比,是否達到設定的要求,然后根據所測量的數值分選到對應的倉盒里面,較終將硅片分選出不同的等級。
  2、測量系統各個模組的結構及工作原理
  下面我們簡單分析一下各個模組的結構及工作原理。
  厚度檢測模組又稱為E H厚度檢測模塊,其工作原理是采用電容耦合的方法測量硅片的厚度。該模塊上有3對傳感器,各有上下兩個電容傳感器,會根據與硅片距離(Ttop、Tbottom)產生不同的電壓值,距離與電壓一般成正比。電壓信號為模擬信號,通過A/D轉換器轉化為數字信號。上下兩個傳感器之間的距離為固定值Ttotal,所以硅片的厚度T=Ttotal-(Ttop Tbottom)。當硅片通過傳感器時,正常情況下會檢測900個點左右的厚度。然后計算出平均厚度和TTV即厚度偏差。所以檢測出來的厚度數值是非常準確的。
  線痕檢測模組是用來檢測硅片表面的平整度的,主要由4個鏡頭和4個激光***組成。它是用激光以14°入射到硅片表面,矩陣相機在硅片傳送過程中一共拍攝11張圖片,對圖片進行分析。硅片表面高低不平,在角度固定的紅色激光線下,會呈現高低不平的圖像。對圖像進行放大、處理,計算出線痕。其表現形式一般有3種:V形凹槽式、階梯式和平緩波浪式。
  隱形裂紋檢測模組簡稱NVCD檢測模塊,它是使用線性相機和紅外光源,檢測硅片的隱形裂紋(也稱微裂紋)的模塊。該模塊也可以檢測雜質。在正常區域,紅外線會透射過硅片,但是因為晶向不同(晶粒),會在圖像中顯示出不同的顏色(出現散射光),和肉眼觀察的硅片外觀基本一致。如果硅片有裂紋,在紅外線照射時,在裂紋區域紅外光不會發生透射,而會大部向各個方向反射,從而使得裂紋區域呈現黑色。
  臟污檢測模組是使用白光LED陣列,線性相機。硅片被分為若干區塊,每個區塊有20個基本像素(可調,每個像素大小約為100um),每個區塊分別計算自身內部的平均灰度(RGB value),并與相鄰的其他8個區塊做比較,如果灰度差值大于15(可調),即認定該區塊為污漬區塊。LED陣列發出的強度極高的白光,在被遮光罩反射后,成全角度射向硅片表面的各個區域,這樣每個晶粒都受到全方向的光照射,不會因為自身晶向的不同,而產生灰度的差異。
  邊緣檢測模組上下各有一個Line Camera和紅光光源。線性相機為2000拍/秒,每次拍攝硅片的圖形是一長條,拼接起來構成硅片的Edge檢測圖像。并且通過分析不同pixel(像素)的RGB值(灰度、灰階)和像素間的RGB值,判斷Chip、Breakage、Holes、Cracks。
  尺寸、翹曲檢測模組主要由1個鏡頭、2個LED紅色光源和2個激光***組成。當檢測BOW/SORI(翹曲的兩種形式)時,使用2道激光線(用光柵衍射為160mm以上長度),以9°入射到硅片上(激光與硅片行進方向平行),通過在硅片上投射出的影像,計算出BOW/SORI值。
  3、分選機的常見故障及解決方法
  當設備出現故障時,我們可以在“Errors”窗口中查看當前的錯誤信息,可以在“Protocol”窗口中查看所有被確認以及未被確認的錯誤信息,以上這些信息都按時間先后順序進行排列。
  1) 厚度部分
  值(TTV)偏高:硅片碎裂殘留在厚度傳感器上;電氣系統缺陷;布線缺陷。值(TTV)偏低:外側傳感器位置錯誤。TTV值顯示為0:供電電源被關閉。
  2) 線痕部分
  無法在軟件窗口中觀察到白色激光圖像:如果正在檢修設備,請確認是否已經關閉電源,例如按下了紅色的急停按鈕;檢查軟件設置;控制相機間寬度的馬達運動到了錯誤的位置;檢查激光器是否正常工作;檢查激光器供電狀態;檢查相機功能是否正常;檢查連接相機與電腦的數據線是否損壞;檢查電腦內部火線適配器是否正常工作。
  硅片邊緣不可見:檢查傳送系統的速度設置;線痕測量值偏高;相機鏡頭未對焦準確;激光在硅片上的測量位置太靠近邊緣。
  3) 臟污部分
  無法在軟件中觀察到圖像:檢查光源。
  始終較差的質量:光源亮度偏暗;錯誤的相機設置(如對焦);錯誤的硅片位置;硅片碎落在下方相機鏡頭上。
  4) 翹曲/幾何尺寸部分
  無法在軟件中觀察到圖像:檢查LED光源是否工作正常。
  始終較差的質量:光源亮度太暗;錯誤的相機設置(如對焦);錯誤的硅片位置。
 
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